プラズマ熱処理  (ぷらずまねつしょり)     [h26]

【用語の意味】

グロー放電によるプラズマを用いる熱処理の総称。プラズマ浸炭・プラズマ窒化など、いろいろな熱処理に応用されています。


【補足説明】

熱処理でいうプラズマは、気体分子が陽イオンと電子に電離した状態のことをいい、真空に近い状態まで減圧して、品物を陰極(マイナス極)にして~1000V程度の電圧をかけると電子が電離している状態になります。

自然界では、太陽の内部、雷、オーロラなどがプラズマ状態になっている例ですが、この状態は高エネルギーであり、それを利用するのをプラズマ熱処理といっています。プラズマの熱だけで処理する場合や、補助的に品物の温度を別に上げる場合など、加熱の様式は様々です。

厳密にいうと、プラズマは電気的に中性ですので、それを電離粒子を加速する電子ビームやイオンビームなどはプラズマとは別に分類されます。


↑記事のTOPに戻る